Напівпровідникові перетворювачі механічних величин з використанням поперечних тензоефектів
Вантажиться...
Дата
2019
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
анізотропія, перетворювачі механічних величин, ефект тензо-е.р.с, МЕМС, інтегральний перетворювач тиску, anisotropy, transducers of mechanical values, tenso-emf-effect, MEMS, integrated pressure transducer, анизотропия, преобразователи механических величин, эффект тензо-э.д.с, МЭМС, интегральный преобразователь давления
Бібліографічний опис
Михайленко, І. В. Напівпровідникові перетворювачі механічних величин з використанням поперечних тензоефектів : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Михайленко Ігор Всеволодович. – Київ, 2019. – 128 с.