Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
У статті розглянуто використання біополімерного матеріалу (наноцелюлози) як гнучкої підкладки
для осадження функціональних шарів електронних приладів. Плівки оксиду молібдену осаджувались на поверхню
наноцелюлози методом йонно-променевого розпилення в низькотемпературних режимах без наступного відпалу.
Було виміряно спектри оптичної прозорості отриманих зразків у вихідному та зігнутому станах та встановлено
вплив пружної деформації зразку з радіусом згину 5 мм на коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому,
видимому та інфрачервоному діапазонах спектру. При цьому було показано, що оптична прозорість вихідних зразків під час згину може зменшуватись на 12-15% порівняно з вихідним станом. Мінімальна величина впливу згину
на коефіцієнт оптичного пропускання (від 0,7 до 3,3%) спостерігається для плівок оксиду молібдену, синтезованих
за температури 50С. Одержані результати можуть бути використані при розробці гнучких електронних приладів
на основі оксиду молібдену.
Опис
Ключові слова
оксид молібдену, наноцелюлоза, гнучка електроніка, molybdenum oxide, nanocellulose, flexible electroniсs
Бібліографічний опис
Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки / Дідусь Р. І., Лапшуда В. А., Гондовська А. С., Ященко О. В. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2021. – Т. 4, № 1. – С. 227276-1 - 227276-6. – Бібліогр.: 13 назв.