Моделювання надвисокочастотного генератора плазми
Вантажиться...
Дата
2018
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
надвисокочастотний генератор плазми, 3D моделювання, НВЧ тракт, хвилевід, microwave plasma generator, 3D simulation, microwave path, waveguide, сверхвысокочастотный генератор плазмы, 3D моделирование, СВЧ тракт, волновод
Бібліографічний опис
Перевертайло, В. В. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми / Перевертайло В. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2018. – Т. 23, № 1(102). – С. 16–22. – Бібліогр.: 12 назв.