The Formation of Surface Nanostructures on As-S-Ge Chalcogenide Film After E-Beam Exposure
Дата
2020
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
chalcogenide thin films, electron beam irradiation, surface nanostructures, халькогенідні тонкі плівки, електронно-променевий запис, поверхневі наноструктури, тонкие халькогенидные пленки, электронно-лучевая запись, поверхностные наноструктуры
Бібліографічний опис
The Formation of Surface Nanostructures on As-S-Ge Chalcogenide Film After E-Beam Exposure / L. O. Revutska, O. I. Shylenko, A. V. Stronski, V. Komanicky, V. S. Bilanych // Наукові вісті КПІ : міжнародний науково-технічний журнал. – 2020. – № 1(128). – С. 48–53. – Бібліогр.: 23 назви.