Удосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів
Вантажиться...
Дата
2014
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
калібрування, масштабний коефіцієнт, еквівалентний діаметр електронного зонда, растровий електронний мікроскоп, обробка сигналів, ряд Еджворта, калибровка, масштабный коэффициент, эквивалентный диаметр электронного зонда, растровый электронный микроскоп, обработка сигналов, ряд Эджворта, calibration, scale factor, equivalent diameter of electron probe, scanning electron microscope, signals processing, Edgeworth series
Бібліографічний опис
Шантир А. С. Удосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів : дис. ... канд. техн. наук. : 05.01.02 – стандартизація, сертифікація та метрологічне забезпечення / А. С. Шантир. - К., 2014. - 203 л. + CD-ROM