Удосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів

dc.contributor.advisorВолодарський, Євген Тимофійович
dc.contributor.authorШантир, Антон Сергійович
dc.contributor.degreedepartmentКафедра автоматизації експериментальних дослідженьuk
dc.contributor.degreefacultyФакультет авіаційних і космічних системuk
dc.contributor.degreegrantorНаціональний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"uk
dc.date.accessioned2014-12-08T13:34:41Z
dc.date.available2014-12-08T13:34:41Z
dc.date.issued2014
dc.format.page203 л.uk
dc.identifier.citationШантир А. С. Удосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів : дис. ... канд. техн. наук. : 05.01.02 – стандартизація, сертифікація та метрологічне забезпечення / А. С. Шантир. - К., 2014. - 203 л. + CD-ROMuk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/9685
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.rightsДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.uk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectкалібруванняuk
dc.subjectмасштабний коефіцієнтuk
dc.subjectеквівалентний діаметр електронного зондаuk
dc.subjectрастровий електронний мікроскопuk
dc.subjectобробка сигналівuk
dc.subjectряд Еджвортаuk
dc.subjectкалибровкаru
dc.subjectмасштабный коэффициентru
dc.subjectэквивалентный диаметр электронного зондаru
dc.subjectрастровый электронный микроскопru
dc.subjectобработка сигналовr
dc.subjectряд Эджвортаru
dc.subjectcalibrationen
dc.subjectscale factoren
dc.subjectequivalent diameter of electron probeen
dc.subjectscanning electron microscopeen
dc.subjectsignals processingen
dc.subjectEdgeworth seriesen
dc.subject.udc006.91:621.385.833.28uk
dc.titleУдосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопівuk
dc.typeThesis Doctoraluk
thesis.degree.levelcandidateuk
thesis.degree.nameкандидат технічних наукuk
thesis.degree.speciality05.01.02 – стандартизація, сертифікація та метрологічне забезпеченняuk

Файли