Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение
Вантажиться...
Дата
2015
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
газорозрядні джерела ННП, генерації озону, нейтралізації чадного газу, рідкокристалічні дисплеї, наносферна літографія, газоразрядные источники ННП, атмосферное давление, генерации озона, нейтрализации угарного газа, жидкокристаллические дисплеи, наносферная литография, nonthermal plasma, generation of ozone, monoxide neutralization, liquid crystal display, nanosphere lithography
Бібліографічний опис
Чаплинский Р. Ю. Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение : дисс. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Р. Ю. Чаплинский. - К., 2015. - 195 л. + CD-ROM