Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorКузьмичёв, Анатолий Иванович
dc.contributor.authorЧаплинский, Роман Юрьевич
dc.contributor.degreedepartmentэлектронных приборов и устройствuk
dc.contributor.degreefacultyэлектроникиuk
dc.contributor.degreegrantorНациональный технический университет Украины "Киевский политехнический институт"uk
dc.date.accessioned2015-11-19T14:01:43Z
dc.date.available2015-11-19T14:01:43Z
dc.date.issued2015
dc.format.page195 л.uk
dc.identifier.citationЧаплинский Р. Ю. Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение : дисс. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Р. Ю. Чаплинский. - К., 2015. - 195 л. + CD-ROMuk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/13908
dc.language.isoruuk
dc.publisher.placeКиевuk
dc.rightsДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.uk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectгазорозрядні джерела ННПuk
dc.subjectгенерації озонуuk
dc.subjectнейтралізації чадного газуuk
dc.subjectрідкокристалічні дисплеїuk
dc.subjectнаносферна літографіяuk
dc.subjectгазоразрядные источники ННПru
dc.subjectатмосферное давлениеru
dc.subjectгенерации озонаru
dc.subjectнейтрализации угарного газаru
dc.subjectжидкокристаллические дисплеиuk
dc.subjectнаносферная литографияru
dc.subjectnonthermal plasmaen
dc.subjectgeneration of ozoneen
dc.subjectmonoxide neutralizationen
dc.subjectliquid crystal displayen
dc.subjectnanosphere lithographyen
dc.subject.udc537.523uk
dc.titleИсточники нетермической плазмы атмосферного давления и их применениеuk
dc.typeThesis Doctoraluk
thesis.degree.levelcandidateuk
thesis.degree.nameканидат технических наукuk
thesis.degree.speciality05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроникаuk

Файли

Зібрання

Дисертації (доступ у чит. залі № 6.6 НТБ)