Распределение температуры при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского
Вантажиться...
Дата
2008
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ЧДТУ
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Воляр, Р. Н. Распределение температуры при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского / Р. Н. Воляр, С. Г. Егоров, И. Ф. Червоный // Комп'ютерне моделювання в хімії та технологіях : тези доповідей Першої науково-практичної конференції з міжнародною участю, 12-16 травня 2008 року, м. Черкаси. – Черкаси : ЧДТУ, 2008. – С. 231-232.