Сенсори на акустичних хвилях на основі наноструктурованого оксиду цинку

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorОрлов, Анатолій Тимофійович
dc.contributor.authorУльянова, Вероніка Олександрівна
dc.contributor.degreedepartmentмікроелектронікиuk
dc.contributor.degreefacultyелектронікиuk
dc.contributor.degreegrantorНаціональний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"uk
dc.date.accessioned2016-06-09T07:11:10Z
dc.date.available2016-06-09T07:11:10Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractukДисертація присвячена розробленню фізико-технологічних засад створення та дослідженню чутливості сенсорів на акустичних хвилях на основі наноструктурованого оксиду цинку. Проведено моделювання п’єзоелектричних властивостей наноструктурованого шару ZnO та показано можливість підвищення ефективності перетворення енергії та зменшення товщини активного шару у порівнянні з полікристалічним. Проведено аналіз чутливості сенсорів на ОАХ та ПАХ з наноструктурованим шаром різноманітної морфології та підтверджено значне покращення чутливості сенсорів до масового навантаження як результат використання наноструктурованого шару за рахунок збільшення площі поверхні чутливого елемента. Встановлено закономірності між параметрами синтезу та структурними властивостями ZnO у формі нанострижнів на підкладках різних типів, що дозволило удосконалити технологію синтезу, досягнути стабільності та повторюваності результатів формування матеріалу. Продемонстровано можливість застосування технології низькотемпературного синтезу наноструктурованого ZnO у поєднанні з класичними мікроелектронними технологіями для виготовлення пристроїв електроніки. Розроблено та досліджено високочутливі макетні зразки сенсорів УФ випромінювання на основі резонатора на ПАХ на підкладці 128°YX – LiNbO3 з аподизованими ЗШП та RMSC і чутливим шаром на основі наноструктурованого ZnO та ZnO:Al. За допомогою методу вимірювання за зсувом частоти резонатора досягнуто більший у порівнянні з існуючими аналогами зсув частоти (138±1,9 кГц) при меншій інтенсивності випромінювання (46 мкВт/см2) з довжиною хвилі 365±3 нм. Запропоновано метод зменшення до 45 с часу відновлення сенсора на основі наноструктурованого ZnO та ZnO:Al шляхом обробки плазмою газового розряду поверхні сенсора.uk
dc.format.page156 с.uk
dc.identifier.citationУльянова В. О. Сенсори на акустичних хвилях на основі наноструктурованого оксиду цинку : дис. ... канд. техн. наук. : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Вероніка Олександрівна Ульянова. - Київ, 2016. - 156 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/16287
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectнаноструктурований оксид цинкуuk
dc.subjectсенсори на акустичних хвиляхuk
dc.subjectмасова чутливістьuk
dc.subjectтехнологія низькотемпературного синтезуuk
dc.subjectсенсори ультрафіолетового випромінюванняuk
dc.subjectнаноструктурированный оксид цинкаru
dc.subjectсенсоры на акустических волнахru
dc.subjectмассовая чувствительностьru
dc.subjectтехнология низкотемпературного синтезаru
dc.subjectсенсоры ультрафиолетового излученияru
dc.subjectNanostructured zinc oxideen
dc.subjectacoustic wave sensorsen
dc.subjectmass sensitivityen
dc.subjectlow-temperature synthesis technologyen
dc.subjectUV sensorsen
dc.subject.udc621.38-022.532:534.18(043.3)uk
dc.subject.udc621.3.049.77:534.18(043.3)
dc.titleСенсори на акустичних хвилях на основі наноструктурованого оксиду цинкуuk
dc.typeThesis Doctoraluk
thesis.degree.levelcandidateuk
thesis.degree.nameкандидат технічних наукuk
thesis.degree.speciality05.27.01 – твердотільна електронікаuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Ulianova_diss.pdf
Розмір:
9.42 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Дисертації (МЕ)
Дисертації (вільний доступ)