Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления
Вантажиться...
Дата
2008
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Аверс
Анотація
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы.
Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.
Опис
Ключові слова
магнетронное распыление, магнетронные системы, ионно-плазменные технологии, нанесение тонких пленок и покрытий
Бібліографічний опис
Кузьмичёв, А. И. Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления [Электронный ресурс] / А. И. Кузьмичёв. – Электронные текстовые данные (1 файл: 7,38 Мбайт). – Киев : Аверс, 2008. – 244 с. – Заглавие с экрана.