Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКузьмичёв, Анатолий Иванович
dc.date.accessioned2021-05-27T11:00:07Z
dc.date.available2021-05-27T11:00:07Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractРассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.ru
dc.description.abstractukРозглянуто фізичні основи магнетронного розпилення та різновиди магнетронних систем для нанесення тонких плівок і покриттів різного призначення, в тому числі системи з посиленою іонізацією газового середовища і імпульсні магнетронні розпилювальні системи. Для наукових і інженерно-технічних працівників, аспірантів і студентів вищих технічних закладів, що спеціалізуються в галузі електронних фізико-технічних пристроїв і іонно-плазмових технологій для електроніки, оптики і машинобудування.uk
dc.format.page244 с.ru
dc.identifier.citationКузьмичёв, А. И. Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления [Электронный ресурс] / А. И. Кузьмичёв. – Электронные текстовые данные (1 файл: 7,38 Мбайт). – Киев : Аверс, 2008. – 244 с. – Заглавие с экрана.ru
dc.identifier.isbn966-8934-07-5
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/41218
dc.language.isoruru
dc.publisherАверсru
dc.publisher.placeКиевru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectмагнетронные системыru
dc.subjectионно-плазменные технологииru
dc.subjectнанесение тонких пленок и покрытийru
dc.subject.udc621.793.18:621.38ru
dc.titleМагнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыленияru
dc.typeBookru

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
A-Kuzmichyov_Magnetron-Sputtering-Systems.pdf
Розмір:
7.2 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Навчально-методичні матеріали (ЕПС)