Закономірності формування фазового складу і структури нанорозмірних плівок Co-Sb на підкладках з термічно окисненого монокристалічного кремнію

dc.contributor.advisorМакогон, Юрій Миколайович
dc.contributor.authorШкарбань, Руслан Анатолійович
dc.contributor.degreedepartmentфізики металівuk
dc.contributor.degreefacultyінженерно-фізичнийuk
dc.contributor.degreegrantorНаціональний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"uk
dc.date.accessioned2016-08-30T13:19:55Z
dc.date.available2016-08-30T13:19:55Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractukДисертаційна робота присвячена встановленню закономірностей термостимульованого формування фазового складу і структури плівок на основі скутерудиту CoSb3, а також впливу фактору нанорозмірності на їх термоелектричні властивості. Вивчено вплив температури підкладки та фізико-технологічних параметрів (температура, тривалість, середовище) термічної обробки на фазовий склад, структуру, рівень механічних напружень та термоелектричні властивості плівок CoSbх(30 нм) (1,8≤х≤4,2) (65-81 ат.% Sb). Проведені металознавчі дослідження дозволили встановити інтервал термостабільності фазового складу в плівках Co-Sb з розширеною областю гомогенності фази CoSb3 і мінімальною шорсткістю поверхні, підвищеною дефектністю структури за рахунок сублімації сурми і зменшення розміру зерен, що з урахуванням нанорозмірного фактору призводить до підвищення коефіцієнта термоелектричної ефективності плівок Co-Sb – функціональних елементів термоелектрики.uk
dc.format.page150 с.uk
dc.identifier.citationШкарбань Р. А. Закономірності формування фазового складу і структури нанорозмірних плівок Co-Sb на підкладках з термічно окисненого монокристалічного кремнію : дис. ... канд. техн. наук. : 05.16.01 – металознавство і термічна обробка металів / Руслан Анатолійович Шкарбань. - Київ, 2016. - 150 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/17448
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectнанорозмірна плівкаuk
dc.subjectтермічна обробкаuk
dc.subjectскутерудит CoSb3uk
dc.subjectантимонідuk
dc.subjectкоефіцієнт термоелектричної ефективностіuk
dc.subjectнаноразмерная пленкаru
dc.subjectтермическая обработкаru
dc.subjectскуттерудит CoSb3ru
dc.subjectантимонидru
dc.subjectкоэффициент термоэлектрической эффективностиru
dc.subjectnanoscaled filmen
dc.subjectheat treatmenten
dc.subjectskutterudite CoSb3en
dc.subjectantimonideen
dc.subjectthermoelectric efficiency factoren
dc.subject.udc539.216.2:661.68(043.3)uk
dc.subject.udc669.017:621.785(043.3)
dc.titleЗакономірності формування фазового складу і структури нанорозмірних плівок Co-Sb на підкладках з термічно окисненого монокристалічного кремніюuk
dc.typeThesis Doctoraluk
thesis.degree.levelcandidateuk
thesis.degree.nameкандидат технічних наукuk
thesis.degree.speciality05.16.01 – металознавство і термічна обробка металівuk

Файли