Підвищення термічної стабільності ITO плівок
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Liha-Pres
Анотація
Об’єктом дослідження є електропровідні прозорі ІТО (Indium
Tin Oxide) покриття, отримані піролітичним методом на силікатному
склі, які знайшли широке застосування у фотовольтації, мікроелектроніці, оптичному приладобудуванні та ін. Предметом дослідження є термічна стабільність таких покриттів та можливих варіантів її підвищення.
Розглянуте в дослідженні рішення стосується використання композитної (багатошарової) структури ІТО покриття з різним хімічним складом
замість одношарового. Для уникнення впливу інших факторів хімічний
склад шарів обрано в одній системі In2O3–SnO2, проте з різним співвідношенням компонентів. Показано, що спостерігається підвищення
термічної стійкості отриманих піролітичним методом на силікатному
склі прозорих електропровідних ІТО плівок шляхом створення багатошарової структури в якій зовнішній по відношенню до скла шар має
хімічний склад 10 ат. % In2O3 + 90 ат. % SnO2 , а внутрішній складається
з 90 ат. % In2O3 + 10 ат. % SnO2 , відповідно. Такий варіант розташування
шарів показав збільшення досліджуваної термічної стійкості у порівнянні зі зразками з оберненим варіантом розташування шарів та вихідним звичайним одношаровим покриттям складу 90 ат. % In2O3 + 10 ат. %
SnO2 . Вплив кількості шарів у даній роботі не досліджувався. Термічну
стійкість оцінювали методом порівняння за величиною питомого поверхневого опору в залежності від температури та тривалості витримки.
Ефективність запропонованого рішення підтверджується більшою термічною стабільністю композитної плівки за другим варіантом у порівнянні з першим та третім в досліджуваному діапазоні температур.
Опис
Ключові слова
прозорі електропровідні покриття, силікатне скло, оксид індію-олова, термічна стабільність, композитні плівкові покриття, transparent conductive coatings, silicate glass, indium-tin oxide, thermal stability, composite film coatings
Бібліографічний опис
Шолом, А. Підвищення термічної стабільності ITO плівок / Анастасія Шолом, Артем Яценко // Композиційні матеріали : монографія за матеріалами XІІ Міжнародної науково-практичної WEB-конференції (квітень 2023 р.). – Львів – Торунь : Liha-Pres, 2023. – С. 189-195.