Підвищення термічної стабільності ITO плівок

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2023

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Liha-Pres

Анотація

Об’єктом дослідження є електропровідні прозорі ІТО (Indium Tin Oxide) покриття, отримані піролітичним методом на силікатному склі, які знайшли широке застосування у фотовольтації, мікроелектроніці, оптичному приладобудуванні та ін. Предметом дослідження є термічна стабільність таких покриттів та можливих варіантів її підвищення. Розглянуте в дослідженні рішення стосується використання композитної (багатошарової) структури ІТО покриття з різним хімічним складом замість одношарового. Для уникнення впливу інших факторів хімічний склад шарів обрано в одній системі In2O3–SnO2, проте з різним співвідношенням компонентів. Показано, що спостерігається підвищення термічної стійкості отриманих піролітичним методом на силікатному склі прозорих електропровідних ІТО плівок шляхом створення багатошарової структури в якій зовнішній по відношенню до скла шар має хімічний склад 10 ат. % In2O3 + 90 ат. % SnO2 , а внутрішній складається з 90 ат. % In2O3 + 10 ат. % SnO2 , відповідно. Такий варіант розташування шарів показав збільшення досліджуваної термічної стійкості у порівнянні зі зразками з оберненим варіантом розташування шарів та вихідним звичайним одношаровим покриттям складу 90 ат. % In2O3 + 10 ат. % SnO2 . Вплив кількості шарів у даній роботі не досліджувався. Термічну стійкість оцінювали методом порівняння за величиною питомого поверхневого опору в залежності від температури та тривалості витримки. Ефективність запропонованого рішення підтверджується більшою термічною стабільністю композитної плівки за другим варіантом у порівнянні з першим та третім в досліджуваному діапазоні температур.

Опис

Ключові слова

прозорі електропровідні покриття, силікатне скло, оксид індію-олова, термічна стабільність, композитні плівкові покриття, transparent conductive coatings, silicate glass, indium-tin oxide, thermal stability, composite film coatings

Бібліографічний опис

Шолом, А. Підвищення термічної стабільності ITO плівок / Анастасія Шолом, Артем Яценко // Композиційні матеріали : монографія за матеріалами XІІ Міжнародної науково-практичної WEB-конференції (квітень 2023 р.). – Львів – Торунь : Liha-Pres, 2023. – С. 189-195.

DOI