Підвищення термічної стабільності ITO плівок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorШолом, Анастасія
dc.contributor.authorЯценко, Артем
dc.date.accessioned2023-11-09T17:34:23Z
dc.date.available2023-11-09T17:34:23Z
dc.date.issued2023
dc.description.abstractОб’єктом дослідження є електропровідні прозорі ІТО (Indium Tin Oxide) покриття, отримані піролітичним методом на силікатному склі, які знайшли широке застосування у фотовольтації, мікроелектроніці, оптичному приладобудуванні та ін. Предметом дослідження є термічна стабільність таких покриттів та можливих варіантів її підвищення. Розглянуте в дослідженні рішення стосується використання композитної (багатошарової) структури ІТО покриття з різним хімічним складом замість одношарового. Для уникнення впливу інших факторів хімічний склад шарів обрано в одній системі In2O3–SnO2, проте з різним співвідношенням компонентів. Показано, що спостерігається підвищення термічної стійкості отриманих піролітичним методом на силікатному склі прозорих електропровідних ІТО плівок шляхом створення багатошарової структури в якій зовнішній по відношенню до скла шар має хімічний склад 10 ат. % In2O3 + 90 ат. % SnO2 , а внутрішній складається з 90 ат. % In2O3 + 10 ат. % SnO2 , відповідно. Такий варіант розташування шарів показав збільшення досліджуваної термічної стійкості у порівнянні зі зразками з оберненим варіантом розташування шарів та вихідним звичайним одношаровим покриттям складу 90 ат. % In2O3 + 10 ат. % SnO2 . Вплив кількості шарів у даній роботі не досліджувався. Термічну стійкість оцінювали методом порівняння за величиною питомого поверхневого опору в залежності від температури та тривалості витримки. Ефективність запропонованого рішення підтверджується більшою термічною стабільністю композитної плівки за другим варіантом у порівнянні з першим та третім в досліджуваному діапазоні температур.uk
dc.description.abstractotherThe object of research is electrically conductive transparent ITO (Indium Tin Oxide) coatings obtained by the pyrolytic method on silicate glass. They have found wide application in photovoltaics, microelectronics, optical instrumentation, etc. The subject of research is the thermal stability of such coatings and possible options for its improvement. The solution considered in the study concerns the use of a composite (multi-layer) structure of ITO coating with a different chemical composition instead of a single-layer one. The chemical composition of the layers is chosen in the same In2O3–SnO2 system, but with different ratios of components to avoid the influence of other factors. Transparent conductive ITO films were obtained by the pyrolytic method on silicate glass by creating a multilayer structure in which the outer layer relative to the glass has a chemical composition of 10 at. % In2O3 + 90 at. % SnO2, and the inner layer consists of 90 at. % In2O3 + 10 at. % SnO2, respectively. This version of the arrangement of the layers showed an increase in the investigated thermal stability in comparison with the samples with the inverted version of the arrangement of the layers and the initial ordinary single-layer coating of the composition of 90 at. % In2O3 + 10 at. % SnO2. The influence of the number of layers was not investigated in this work. Thermal stability was evaluated by comparing the value of the specific surface resistance depending on the temperature and duration of exposure. The effectiveness of the proposed solution is confirmed by the greater thermal stability of the composite film according to the second option compared to the first and third in the studied temperature range.uk
dc.format.pagerangeС. 189-195uk
dc.identifier.citationШолом, А. Підвищення термічної стабільності ITO плівок / Анастасія Шолом, Артем Яценко // Композиційні матеріали : монографія за матеріалами XІІ Міжнародної науково-практичної WEB-конференції (квітень 2023 р.). – Львів – Торунь : Liha-Pres, 2023. – С. 189-195.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/62102
dc.language.isoukuk
dc.publisherLiha-Presuk
dc.publisher.placeЛьвів – Торуньuk
dc.relation.ispartofКомпозиційні матеріали : монографія за матеріалами XІІ Міжнародної науково-практичної WEB-конференції (квітень 2023 р.)uk
dc.subjectпрозорі електропровідні покриттяuk
dc.subjectсилікатне склоuk
dc.subjectоксид індію-оловаuk
dc.subjectтермічна стабільністьuk
dc.subjectкомпозитні плівкові покриттяuk
dc.subjecttransparent conductive coatingsuk
dc.subjectsilicate glassuk
dc.subjectindium-tin oxideuk
dc.subjectthermal stabilityuk
dc.subjectcomposite film coatingsuk
dc.subject.udc666.1.056uk
dc.titleПідвищення термічної стабільності ITO плівокuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
P.189-195.pdf
Розмір:
366.04 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Розділ 3. Керамічні та склоподібні матріали (матеріали, технології, обладнання, вибори)