Використання локального анодного окислення для створення запам’ятовуючих наноприладів
Вантажиться...
Файли
Дата
2012
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПИ"
Анотація
Опис
Ключові слова
локальне анодне окислення, скануючий зондовий літограф, запам’ятовуючі наноприлади, анодний оксид, надтонкі металеві плівки
Бібліографічний опис
Золот, А. І. Використання локального анодного окислення для створення запам’ятовуючих наноприладів / А. І. Золот, М. І. Ходаковський, П. А. Мержвинський // Электроника и связь : научно-технический журнал. – 2012. – № 3(68). – С. 14–18. – Бібліогр.: 6 назв.