Використання локального анодного окислення для створення запам’ятовуючих наноприладів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЗолот, А. І.
dc.contributor.authorХодаковський, М. І.
dc.contributor.authorМержвинський, П. А.
dc.date.accessioned2013-08-09T12:11:59Z
dc.date.available2013-08-09T12:11:59Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractenPossibilities of local anodic oxidation (LAO) for superdense information recording using a negative potential on probe of atomic force lithographer (AFL) are investigated in this paper. It is shown that the intensity of LAO surface of metals and semiconductors significantly depends on parameters such as time of oxidation, humidity, type of oxidizable material and anode-cathode potential difference. The possibility of obtaining structures for storage nanode-vices is experimentally proved.uk
dc.description.abstractukУ роботі досліджені можливості методу локального анодного окислення (ЛАО) для отримання надщільного запису інформації з використанням негативного потенціалу на зонді атомно-силового літографа (АСЛ). Показано, що інтенсивність ЛАО поверхні металів і напівпровідників істотно залежить від таких параметрів, як час окислення, вологість повітря, вид окислюваного матеріалу і анод-катодна різниця потенціалів. Експериментально обґрунтована можливість одержання структур для запам’ятовуючих наноприладів.uk
dc.format.pagerangeС. 14-18uk
dc.identifier.citationЗолот, А. І. Використання локального анодного окислення для створення запам’ятовуючих наноприладів / А. І. Золот, М. І. Ходаковський, П. А. Мержвинський // Электроника и связь : научно-технический журнал. – 2012. – № 3(68). – С. 14–18. – Бібліогр.: 6 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/3446
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ "КПИ"uk
dc.publisher.placeКиевuk
dc.sourceЭлектроника и связь: научно-технический журналru
dc.source.nameЭлектроника и связь: научно-технический журналuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectлокальне анодне окисленняuk
dc.subjectскануючий зондовий літографuk
dc.subjectзапам’ятовуючі наноприладиuk
dc.subjectанодний оксидuk
dc.subjectнадтонкі металеві плівкиuk
dc.subject.udc539.216.2uk
dc.titleВикористання локального анодного окислення для створення запам’ятовуючих наноприладівuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
02.pdf
Розмір:
227.4 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Электроника и связь: научно-технический журнал, № 3(68)