Термічна стабільність фазового складу та електрофізичні властивості вакуумно-конденсованих шарів Cu/Cr/Ni

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2019

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Об’єкт дослідження – фазові перетворення та електрофізичні властивості вакуумно-конденсованих шарів Cu/Cr/Ni при відпалі. Мета роботи – дослідження особливостей фазового складу структури наношарової композиції Cu/Cr/Ni до та після відпалу у вакуумі. Методи дослідження – термічне випаровування, метод інтерференції, електронографія, резистометрія, вторинно-іонна мас-спектрометрія. Дослідження фазових перетворень в шарах нанометрових діапазонів є актуальною проблемою для вирішення поставлених задач матеріалознавства, а саме – покращення робочих характеристик мікроприладів та покращення температурно-часового інтервалу їх роботи. Було проведено дослідження фазових перетворень тришарової системи Cu/Cr/Ni при різних температурах у вакуумі та показано, що ця тонкоплівкова система проявляє високу стабільність структури та фазового складу у температурному режимі 20 °C – 600 °C і може бути застосована у якості контактів в мікроелектронних приладах та комутаційних апаратів, що працюють у високонапружених мережах.

Опис

Ключові слова

нанорозмірні шари, масоперенесення, поверхнева сеґреґація, радіаційні дефекти, тонкоплівкова система, фазовий склад, вакуумне осадження, електронографія, електронна мікроскопія, Cu/Cr/Ni, резистометрія, nano-dimensional layers, mass-transmission, surface segregation, radiation defects, nanometer system, phase composition, vacuum precipitation, electronography, electronic microscopy, resistometry

Бібліографічний опис

Олексієнко, Д. Р. Термічна стабільність фазового складу та електрофізичні властивості вакуумно-конденсованих шарів Cu/Cr/Ni : дипломна робота ... бакалавра : 6.050403 Інженерне матеріалознавство / Олексієнко Денис Русланович. – Київ, 2019. – 73 с.

ORCID

DOI