Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВащенко, Вячеслав Андрійович
dc.contributor.authorБондаренко, Максим Олексійович
dc.date.accessioned2019-02-13T13:07:14Z
dc.date.available2019-02-13T13:07:14Z
dc.date.issued2019
dc.descriptionРобота виконана в Черкаському державному технологічному університеті Міністерства освіти і науки України на кафедрі фізики.uk
dc.description.abstractukДисертація на здобуття наукового ступеня доктора технічних наук за спеціальністю 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин. – Національний технічний університет України “Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського” Міністерства освіти і науки України, Київ, 2018. Дисертація присвячена вирішенню важливої науково-технічної проблеми удосконалення існуючих та створення нових методів і засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю геометричних та механічних характеристик компонентів мікросистемної техніки шляхом застосування автоматизованих систем вимірювання і контролю цих характеристик з урахуванням дії дестабілізуючих факторів, розроблення математичних та експериментально-статистичних моделей, що в цілому представляє собою наукові основи керування якістю процесу контролю на основі методу атомно-силової мікроскопії та дозволяє зменшити відносну похибку на 8 – 11%, збільшити чутливість методу на 17 – 19% та відтворюваність результатів контролю у 2,1 – 2,4 рази, а також збільшити термін експлуатації зонду у 2,6 – 3,5 рази, ймовірність його безвідмовної роботи – на 5 – 10%, зменшити в 1,2 – 3,4 рази швидкість ерозії поверхні, а також визначити діапазон робочих параметрів сканування, що забезпечують стабільну роботу атомно-силового мікроскопу.uk
dc.format.page427 сuk
dc.identifier.citationБондаренко, М. О. Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки : дис. … д-ра техн. наук : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / Бондаренко Максим Олексійович. – Київ, 2019. – 427 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/26337
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectнеруйнівний контрольuk
dc.subjectатомно-силова мікроскопіяuk
dc.subjectкліматичні факториuk
dc.subjectробочі параметриuk
dc.subjectмікросистемна технікаuk
dc.subjectточністьuk
dc.subjectчутливістьuk
dc.subjectвідтворюваністьuk
dc.subjectnon-destructive controluk
dc.subjectatomic-force microscopyuk
dc.subjectclimatic factorsuk
dc.subjectoperation parametersuk
dc.subjectmicrosystem technologyuk
dc.subjectaccuracyuk
dc.subjectsensitivityuk
dc.subjectreproducibilityuk
dc.subjectнеразрушающий контрольuk
dc.subjectатомно-силовая микроскопияuk
dc.subjectклиматические факторыuk
dc.subjectрабочие параметрыuk
dc.subjectмикросистемная техникаuk
dc.subjectточностьuk
dc.subjectчувствительностьuk
dc.subjectвоспроизводимостьuk
dc.subject.udc620.179.1:[681.723.2+681.385.85] (043.3)uk
dc.titleРозвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної технікиuk
dc.typeThesis Doctoraluk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Bondarenko_diss.pdf
Розмір:
14.99 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Дисертації (вільний доступ)