Технологічні основи електроніки. Книга 1. Технологія виробництва мікросхем
Вантажиться...
Дата
2019-03
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
мікросхема, виготовлення ІС, оксид кремнію, літографія, дифузійний процес, іонна імплантація, епітаксія, термовакуумне випаровування, осадження тонких плівок, топологія, тонкоплівкові мікросхеми, гібридна інтегральна мікросхема (ГІС), товстоплівкова мікросхема, зондовий контроль, скрайбування, корпусування чіпів
Бібліографічний опис
Технологічні основи електроніки. Книга 1. Технологія виробництва мікросхем [Електронний ресурс] : навчальний посібник для студентів спеціальності 171 «Електроніка», спеціалізації «Електронні прилади та пристрої» / А. І. Кузьмичев, Л. Д. Писаренко, Л. Ю. Цибульский ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 3,74 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 127 с. – Назва з екрана.