Технологічні основи електроніки. Книга 1. Технологія виробництва мікросхем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКузьмичєв, Анатолій Іванович
dc.contributor.authorПисаренко, Леонід Дмитрович
dc.contributor.authorЦибульский, Леонід Юрійович
dc.date.accessioned2019-12-02T09:51:05Z
dc.date.available2019-12-02T09:51:05Z
dc.date.issued2019-03
dc.description.abstractenThe design of microcircuits and the technology of their production in the study guide are considered - semiconductor microcircuits and hybrid on thin and thick films. In the manual, all modern technologies for processing semiconductor structures (lithography, plasma, etc.) are presented. Starting from the production of single-crystal silicon as a starting material. Thin film and hybrid microcircuits are also considered. The manual is intended for students enrolled in specialty 171 "Electronics", specialization "Electronic devices and devices", may be useful to students of other specialties and specializations.uk
dc.description.abstractruВ учебном пособии рассмотрены конструкции микросхем и технологии их производства - полупроводниковых микросхем и гибридных на тонких и толстых пленках. В пособии представлены все современные технологии обработки полупроводниковых структур (литография, плазма и др.), Начиная с получения монокристаллического кремния в качестве исходного материала. Также рассматриваются тонкопленочные и гибридные микросхемы. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальности 171 «Электроника», специализации «Электронные приборы и устройства», может быть полезно студентам других специальностей и специализаций.uk
dc.description.abstractukУ навчальному посібнику розглянуто конструкції мікросхем і технології їх виробництва - напівпровідникових мікросхем та гібридних на тонких і товстих плівках. В посібнику представлено всі сучасні технології обробки напівпровідникових структур (літографія, плазма та інш.), починаючи з отримання монокристалічного кремнію як вихідного матеріалу. Також розглядаються тонкоплівкові та гібридні мікросхеми. Навчальний посібник призначений для студентів, які навчаються за спеціальністю 171 «Електроніка», спеціалізацією «Електронні прилади та пристрої», може бути корисним студентам інших спеціальностей та спеціалізацій.uk
dc.format.page127 с.uk
dc.identifier.citationТехнологічні основи електроніки. Книга 1. Технологія виробництва мікросхем [Електронний ресурс] : навчальний посібник для студентів спеціальності 171 «Електроніка», спеціалізації «Електронні прилади та пристрої» / А. І. Кузьмичев, Л. Д. Писаренко, Л. Ю. Цибульский ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 3,74 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 127 с. – Назва з екрана.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/30141
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectмікросхемаuk
dc.subjectвиготовлення ІСuk
dc.subjectоксид кремніюuk
dc.subjectлітографіяuk
dc.subjectдифузійний процесuk
dc.subjectіонна імплантаціяuk
dc.subjectепітаксіяuk
dc.subjectтермовакуумне випаровуванняuk
dc.subjectосадження тонких плівокuk
dc.subjectтопологіяuk
dc.subjectтонкоплівкові мікросхемиuk
dc.subjectгібридна інтегральна мікросхема (ГІС)uk
dc.subjectтовстоплівкова мікросхемаuk
dc.subjectзондовий контрольuk
dc.subjectскрайбуванняuk
dc.subjectкорпусування чіпівuk
dc.titleТехнологічні основи електроніки. Книга 1. Технологія виробництва мікросхемuk
dc.typeBookuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
TOE_Tech_IC_book-1_2019.pdf
Розмір:
3.65 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Навчально-методичні матеріали (ЕП)