Исследование точности технологического процесса обработки типовых микромеханических компонентов

Исследование точности технологического процесса обработки типовых микромеханических компонентов / Остафьев В. А., Диордица И. Н., Петренко С. Ф., Филиппова М. В. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2006. – Вип. 32. – С. 83–89. – Бібліогр.: 10 назв.