Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКруглов, Иван Александрович
dc.contributor.authorКотенко, Игорь Евгеньевич
dc.contributor.authorГрищенко, Виктория Андреевна
dc.contributor.authorСидоренко, Сергей Иванович
dc.contributor.authorВолошко, Светлана Михайловна
dc.date.accessioned2019-11-21T15:21:44Z
dc.date.available2019-11-21T15:21:44Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractenThe features of the structure and phase composition formation in the Cu(25 nm)/Cr(25 nm) system during annealing in a vacuum over a wide temperature range are investigated. The development of redox processes, which can be effectively controlled by using additional ion-plasma treatment, is registered. The low-energy ion impact allows stabilizing the nanocrystalline structure by inhibiting the recrystallization processes and, thereby, to increase the thermal stability of the working film elements of micro- and nanoelectronic devices.uk
dc.description.abstractruИсследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плазменной обработки. Низкоэнергетическое ионное воздействие позволяет также стабилизировать нанокристаллическую структуру путём торможения процессов рекристаллизации и таким образом повысить термическую стабильность рабочих плёночных элементов микро- и наноэлектронных устройств.uk
dc.description.abstractukДосліджено особливості формування структури та фазового складу системи Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при відпалі у вакуумі в широкому температурному інтервалі. Зафіксовано розвиток окиснювально-відновних процесів, які можна ефективно контролювати шляхом використання додаткового йонно-плазмового оброблення. Низькоенергетичний йонний вплив уможливлює також стабілізувати нанокристалічну структуру шляхом гальмування процесів рекристалізації і таким чином підвищити термічну стабільність робочих плівкових елементів мікро- та наноелектронних пристроїв.uk
dc.format.pagerangeС. 1-11uk
dc.identifier.citationСтруктурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях / И. А. Круглов, И. Е. Котенко, В. А. Грищенко, С. И. Сидоренко, С. М. Волошко // Металофізика і новітні технології. – 2019. – Т. 41, № 1. – С. 1–11. – Бібліогр.: 13 назв.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.15407/mfint.41.01.0001
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/30104
dc.language.isoruuk
dc.publisherІнститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН Україниuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceМеталофізика та новітні технології = Metallophysics and Advanced Technologies, 2019, Т. 41, № 1uk
dc.subjectнаноразмерная системаuk
dc.subjectионно-плазменная обработкаuk
dc.subjectотжигuk
dc.subjectоксидообразованиеuk
dc.subjectмикроструктураuk
dc.subjectнанорозмірна системаuk
dc.subjectйонно-плазмове обробленняuk
dc.subjectвідпалuk
dc.subjectоксидоутворенняuk
dc.subjectмікроструктураuk
dc.subjectnanoscale systemuk
dc.subjection-plasma treatmentuk
dc.subjectannealinguk
dc.subjectoxide formationuk
dc.subjectmicrostructureuk
dc.subject.otherPACS numbers: 61.80.Jh, 64.70.kd, 68.35.Rh, 81.40.Ef, 81.40.Wx, 81.65.Mqen
dc.titleСтруктурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействияхuk
dc.title.alternativeСтруктурно-фазові перетворення в нанорозмірній системі Cu/Cr за термічного та йонного впливівuk
dc.title.alternativeStructural and Phase Transformations in Nanoscale Cu/Cr System under Heat and Ion Actionsuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2019_MFiNT_41-1_1-11.pdf
Розмір:
1.32 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Статті (ФМ ІФФ)