Високонадійні сенсори на основі плівок нанокристалічного SIC для моніторингу газового середовища

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСеменов, О. В.
dc.contributor.authorЛюбов, Д. В.
dc.date.accessioned2022-10-21T08:01:12Z
dc.date.available2022-10-21T08:01:12Z
dc.date.issued2020
dc.description.abstractenThe research of gas-sensitive properties of (S) nc-SiC films obtained by the original method of direct ion deposition is carried out. The ability of nanocrystalline SiC films with electronic conductivity to detect oxidizing (O2) and reducing gases (CO, CH4) with maximum permissible concentrations is demonstrated .uk
dc.description.abstractukПроведено дослідження газочутливих властивостей (S) nc-SiC плівок, отриманих оригінальним методом прямого іонного осадження. Продемонстрована здатність плівок нанокристалічного SiC з електронним типом провідності детектувати окисні (О2) та ві-дновлювальні гази (СО, СН4) з гранично допустимими концентраціями.uk
dc.format.pagerangeС. 178-180uk
dc.identifier.citationСеменов, О. В. Високонадійні сенсори на основі плівок нанокристалічного SIC для моніторингу газового середовища / Семенов О. В., Любов Д. В. // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 16-22 листопада 2020 р., м. Київ, Україна / КПІ ім. Ігоря Сікорського, РТФ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 178-180.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/50497
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceМіжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 16-22 листопада 2020 р., м. Київ, Українаuk
dc.subjectгазочутливі властивостіuk
dc.subjectелектроопірuk
dc.subjectнанокристалічний карбід кремніюuk
dc.subjectгазові сенсориuk
dc.subjectgas-sensitive propertiesuk
dc.subjectelectrical resistanceuk
dc.subjectnanocrystalline silicon carbideuk
dc.subjectgas sensorsuk
dc.titleВисоконадійні сенсори на основі плівок нанокристалічного SIC для моніторингу газового середовищаuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
RTPSAS_2020_s4_t16.pdf
Розмір:
1.35 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція 4. Електроніка, нанотехнології, біомедичні системи, радіовимірювання