Дослiдження топологiї поверхнi перiодичних металевих структур за допомогою iнтерферометрiї бiлого світла
Вантажиться...
Дата
2022
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Iнтерферометрiя бiлого свiтла є ефективним способом безконтактного визначення рельєфу поверхнi зразка. Завдяки
поєднанню традицiйних методiв iнтерферометрiї та новiтнього програмного забезпечення з її допомогою можна
отримати зображення з роздiльною здатнiстю до 1 ангстрема у висотi та десятих мiкрометра в горизонтальнiй
площинi. Саме тому з використанням iнтерферометрiї бiлого свiтла був дослiджений профiль поверхнi металевих
дифракцiйних ґраток. Були визначенi сталi ґраток, глибина штрихiв та загальна форма профiлю. Також було
створено 3D зображення рельєфу зразкiв.
Опис
Ключові слова
iнтерферометрiя бiлого свiтла, топологiя поверхнi, перiодичнi структури, дифракцiйнi ґратки
Бібліографічний опис
Дослiдження топологiї поверхнi перiодичних металевих структур за допомогою iнтерферометрiї бiлого світла / Я. Д. Мамчур, В. В. Iванова, Т. I. Гураль, Г. Є. Монастирський // XIX Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики» (Україна, м. Київ, 15 червня 2022 р.) : матеріали конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 70-73. – Бібліогр.: 4 назви.