Дослiдження топологiї поверхнi перiодичних металевих структур за допомогою iнтерферометрiї бiлого світла

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМамчур, Я. Д.
dc.contributor.authorIванова, В. В.
dc.contributor.authorГураль, Т. I.
dc.contributor.authorМонастирський, Г. Є.
dc.date.accessioned2023-03-21T09:12:28Z
dc.date.available2023-03-21T09:12:28Z
dc.date.issued2022
dc.description.abstractIнтерферометрiя бiлого свiтла є ефективним способом безконтактного визначення рельєфу поверхнi зразка. Завдяки поєднанню традицiйних методiв iнтерферометрiї та новiтнього програмного забезпечення з її допомогою можна отримати зображення з роздiльною здатнiстю до 1 ангстрема у висотi та десятих мiкрометра в горизонтальнiй площинi. Саме тому з використанням iнтерферометрiї бiлого свiтла був дослiджений профiль поверхнi металевих дифракцiйних ґраток. Були визначенi сталi ґраток, глибина штрихiв та загальна форма профiлю. Також було створено 3D зображення рельєфу зразкiв.uk
dc.format.pagerangeС. 70-73uk
dc.identifier.citationДослiдження топологiї поверхнi перiодичних металевих структур за допомогою iнтерферометрiї бiлого світла / Я. Д. Мамчур, В. В. Iванова, Т. I. Гураль, Г. Є. Монастирський // XIX Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики» (Україна, м. Київ, 15 червня 2022 р.) : матеріали конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 70-73. – Бібліогр.: 4 назви.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/53817
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceXX Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики» (Україна, м. Київ, 15 червня 2022 р.) : матеріали конференції
dc.subjectiнтерферометрiя бiлого свiтлаuk
dc.subjectтопологiя поверхнiuk
dc.subjectперiодичнi структуриuk
dc.subjectдифракцiйнi ґраткиuk
dc.titleДослiдження топологiї поверхнi перiодичних металевих структур за допомогою iнтерферометрiї бiлого світлаuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
(70-73)_Mamchur.pdf
Розмір:
3.72 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція. Актуальнi проблеми сучасної фiзики