Оптичні і пасивувальні властивості нітриду кремнію
Вантажиться...
Дата
2008
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Мариненко, О. А. Оптичні і пасивувальні властивості нітриду кремнію / О. А. Мариненко // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 6(62). – С. 14–19. – Бібліогр.: 20 назв.