Оптичні і пасивувальні властивості нітриду кремнію

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМариненко, Олександр Анатолійович
dc.date.accessioned2020-09-08T10:23:27Z
dc.date.available2020-09-08T10:23:27Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractenThis paper considers physical and technological processes of enhancing transformation efficiency of photoelectric transducers on the basis of singlecrystalline and multicrystalline silicon. The core of this work is the study of optical and passivating properties of silicon nitride films, produced by the plasma chemical deposition technology.uk
dc.description.abstractruРассмотрены физико-технологические процессы повышения эффективности преобразования фотоэлектрических преобразователей на основе монокристаллического и мультикристаллического кремния. Исследованы оптические и пассивирующие свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением.uk
dc.description.abstractukРозглянуто фізико-технологічні процеси підвищення ефективності перетворення фотоелектричних перетворювачів на основі монокристалічного і мультикристалічного кремнію. Досліджено оптичні і пасивувальні властивості плівок нітриду кремнію, отриманих плазмохімічним осадженням.uk
dc.format.pagerangeС. 14-19uk
dc.identifier.citationМариненко, О. А. Оптичні і пасивувальні властивості нітриду кремнію / О. А. Мариненко // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 6(62). – С. 14–19. – Бібліогр.: 20 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/36031
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceНаукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал, 2008, № 6(62)uk
dc.subject.udc621.383uk
dc.titleОптичні і пасивувальні властивості нітриду кремніюuk
dc.title.alternativeThe optical and passivating properties of silicon nitrideuk
dc.title.alternativeОптические и пассивирующие свойства нитрида кремнияuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2008-6-2.pdf
Розмір:
246.8 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 6(62)