Модифікація електричних властивостей оксиду графену засобами скануючої зондової мікроскопії

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorБорисов, Олександр Васильович
dc.contributor.authorМалюта, Сергій Васильович
dc.date.accessioned2018-05-21T08:04:14Z
dc.date.available2018-05-21T08:04:14Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractenThe work contains of 88 pages, 31 figures, 21 tables and 52 bibliographic titles. The urgency of the work is conditioned by the need for new methods of lithography with a nanometer resolution and also in the study of new materials for various branches of science and technology. The master thesis considers diagnostic and technological capabilities of a scanning probe microscopy. Different methods of scanning probe lithography are considered. Their capabilities, advantages and disadvantages are presented. An overview of the properties and methods of obtaining graphene oxide is given. The prospects for its application are described. The peculiarities of graphene oxide reduction by temperature annealing are established by means of an in-situ Kelvin- probe microscopy. The optimal parameters for this technological operation are established. Nanomechanical modification of graphene oxide flakes was carried out. The optimum parameters of tip-surface interaction are established for controlled mechanical modification of the graphene oxide flakes. The aim of the study is the developed technique for controlled modification of graphene oxide plates and also obtaining information about changing their properties in real time. The objects of the research are the methods of nanoscale modification and also real-time monitoring of the electrical properties of the surface of graphene oxide. The subject of the study are the parameters of the interaction of the probe of an atomic-force microscope with the surface of the plates of graphene oxide and also the change in its properties during the reduction process. The methods of research included measuring scanning probe microscope techniques, in particular atomic force microscopy, conducting microscopy, Kelvin probe force microscopy and mechanical scanning probe lithography. Scientific novelty consists in determining the parameters of interaction of the probe with the surface of graphene oxide for mechanical modification, and in studying the properties of its surface during annealing in real time using the Kelvin probe force microscopy. The results of scientific research were presented in the conference "Lashkarov`s Readings 2018" and in the journal "Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics"uk
dc.description.abstractukПояснювальна записка містить 88 сторінок, 31 рисунок, 21 таблицю та 52 бібліографічних найменувань. Актуальність роботи зумовлена потребою в нових методах літографії із нанометровою роздільною здатністю а також у дослідженні нових матеріалів для різних галузей науки і техніки. В роботі розглянуті діагностичні та технологічні можливості скануючих зондових мікроскопів. Описані їх вимірювальні методики. Розглянуто різні методики скануючої зондової літографії. Наведені їх можливості, переваги та недоліки. Здійснено огляд властивостей та методів одержання оксиду графену. Описані перспективи його застосування. Встановлено особливості відновлення оксиду графену шляхом його температурного відпалу засобами Кельвін-зонд мікроскопії в режимі реального часу. Встановлені оптимальні параметри для проведення цієї технологічної операції. Здійснено наномеханічну модифікацію пластинок оксиду графену. Встановлені оптимальні параметри взаємодії зонду атомно-силового мікроскопу із поверхнею пластинок оксиду графену для їх керованої механічної модифікації. Метою дослідження є розроблена методика керованої модифікації пластинок оксиду графену а також отримання інформації про зміну їх властивостей в реальному часі. Об’єктами дослідження є методики нанозондової модифікації а також контролю в реальному часі електричних властивостей поверхні оксиду графену. Предметом дослідження є параметри взаємодії зонду атомно-силового мікроскопу із поверхнею пластинок оксиду графену а також зміна її властивостей у процесі відновлення. Методи дослідження включали в себе вимірювальні методики зондового мікроскопу, зокрема атомно-силову мікроскопію, провідну мікроскопію, силову Кельвін-зонд мікроскопію а також механічну скануючу зондову літографію. Наукова новизна полягає у визначенні параметрів взаємодії зонду із поверхнею оксиду графену для здійснення механічної модифікації, а також дослідження властивостей його поверхні в процесі відпалу в реальному часі за допомогою силової Кельвін-зонд мікроскопії. Результати наукових досліджень опубліковано у збірнику тез конференції «Лашкарьовські читання 2018» та у журналі «Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics»uk
dc.format.page90 с.uk
dc.identifier.citationМалюта, С. В. Модифікація електричних властивостей оксиду графену засобами скануючої зондової мікроскопії : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Малюта Сергій Васильович. – Київ, 2018. – 90 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/22971
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectскануючий зондовий мікроскопuk
dc.subjectатомно-силовий мікроскопuk
dc.subjectсилова Кельвін-зондова мікроскопіяuk
dc.subjectпровідна атомно-силова мікроскопіяuk
dc.subjectскануюча зондова літографіяuk
dc.subjectнанолітографіяuk
dc.subjectоксид графенуuk
dc.subjectвідновлений оксид графенуuk
dc.subjectscanning probe microscopeuk
dc.subjectatomic force microscope.uk
dc.subjectKelvin probe force microscopyuk
dc.subjectconductive atomic force microscopyuk
dc.subjectscanning probe lithographyuk
dc.subjectnanolithographyuk
dc.subjectreduced graphene oxideuk
dc.subjectgraphene oxideuk
dc.titleМодифікація електричних властивостей оксиду графену засобами скануючої зондової мікроскопіїuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Maliuta_magistr.pdf
Розмір:
5.93 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (МЕ)
Магістерські роботи