Проблемы интеграции структур гетероелектроники с кремниевыми ИС.
Дата
1999
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський государственный политехнический университет.
Анотація
Опис
Ключові слова
арсенид галлия, гетероструктура, кремниевая структура, интеграция структур, эпитаксия, подложка
Бібліографічний опис
Осинский, В. И. Проблемы интеграции структур гетероелектроники с кремниевыми ИС / В. И.Осинский, П. Ф. Олексенко, А. В. Палагин, В. В. Зубарев, В. В. Луговский [ та ін.]// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 1999. - № 1. - C. 3 - 17.