Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів
Вантажиться...
Дата
2011
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Розглянуто можливості використання електронних гармат високовольтного. тліючого розряду для нанесення покриттів складного хімічного складу у контрольованому газовому середовищі. Для іонізації потоку пара високої концентрації використовувався дуговий розряд, що запалюється над тиглем з металом, що випаровується. Для покращення адгезії напилюваних покриттів використовувалася іонна очищення підкладок. Отримано залежність струму допоміжного дугового розряду від потужності електронного пучка, досліджено мікроструктуру нанесених покриттів. Проведені дослідження показали високу ефективність використання електронних гармат високовольтного тліючого розряду при нанесенні наноструктурованих композитних покриттів.
Опис
Ключові слова
електронно-променеве випаровування, високовольтний розряд, що тліє, композитні покриття, наноструктуровані покриття
Бібліографічний опис
Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів / Денбновецький С. В., Мельник В. Г., Мельник І. В., Тугай Б. А. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №3(62). – С. 64-67. – Бібліогр.: 4 назви.