Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДенбновецький, С. В.
dc.contributor.authorМельник, В. Г.
dc.contributor.authorМельник, І. В.
dc.contributor.authorТугай, Б. А.
dc.date.accessioned2023-10-06T08:36:21Z
dc.date.available2023-10-06T08:36:21Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractРозглянуто можливості використання електронних гармат високовольтного. тліючого розряду для нанесення покриттів складного хімічного складу у контрольованому газовому середовищі. Для іонізації потоку пара високої концентрації використовувався дуговий розряд, що запалюється над тиглем з металом, що випаровується. Для покращення адгезії напилюваних покриттів використовувалася іонна очищення підкладок. Отримано залежність струму допоміжного дугового розряду від потужності електронного пучка, досліджено мікроструктуру нанесених покриттів. Проведені дослідження показали високу ефективність використання електронних гармат високовольтного тліючого розряду при нанесенні наноструктурованих композитних покриттів.uk
dc.description.abstractotherPossibilities of using of high voltage glow discharge electron guns for deposition of chemically complex coatings in controlled gas medium is considered. Arc discharge, lighted over the crucible with evaporated material, is used for ionizing of high-concentrated vapors. Dependences of additional discharge current from the electron beam power are analyzed. Microstructures of deposited films are investigated. Provided investigations show the high efficiency of using high voltage glow discharge electron guns for deposition of nanostructurized composite coatings.uk
dc.format.pagerangePp. 64-67uk
dc.identifier.citationГазорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів / Денбновецький С. В., Мельник В. Г., Мельник І. В., Тугай Б. А. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №3(62). – С. 64-67. – Бібліогр.: 4 назви.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.3.265029
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/61005
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.relation.ispartofЭлектроника и связь: научно-технический журнал, № 3(62)uk
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.subjectелектронно-променеве випаровуванняuk
dc.subjectвисоковольтний розряд, що тлієuk
dc.subjectкомпозитні покриттяuk
dc.subjectнаноструктуровані покриттяuk
dc.subject.udc537.525uk
dc.titleГазорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттівuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
265029-621383-1-10-20221219.pdf
Розмір:
224.26 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Электроника и связь: научно-технический журнал, № 3(62)