Дослідження тонких плівок сегнетоелектриків на кремнієвій підкладці

Анотація

Опис

Ключові слова

тонкі сегнетоелектричні плівки, вольт-фарадні характеристики, поліметалічні оксиди, ferroelectric thin films, capacitance-voltage characteristics of polymetallic oxides, тонкие сегнетоэлектрические пленки, вольт-фарадные характеристики, полиметаллические оксиды

Бібліографічний опис

Дослідження тонких плівок сегнетоелектриків на кремнієвій підкладці / Воронов С. О., Богорош О. Т., Муравов С. О., Гордійко Н. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2015. – Вип. 50(2). – С. 84–92. – Бібліогр.: 11 назв.

DOI