Термічне окиснення тонких шарiв вакуумно осадженого хрому
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Об’єкт дослідження: фазові перетворення у тонких плівках хрому при відпалі у вакуумі.
Предмет дослідження: тонкі плівки хрому при відпалі у вакуумі.
Мета досліджень: Дослідження структури та фазового складу вакуумно-осаджених плівок хрому в процесі відпалу у вакуумі, що супроводжуються їх окисленням. Визначення температурно-часов меж стабільності структури тонких плівок металевого хрому до початку окиснення.
Методи досліджень: трансмісійна електронна мікроскопія (ТЕМ), електронографія, резистометрія.
Результати досліджень: Електронографічні дослідження свідчать, що під час відпалу плівок хрому у вакуумі (10-20) мПа, при нагріві до температурі 900 °С плівка поступово переходить до стану оксиду, що відповідає стехіометричному складу Cr2O3, при цьому відбувається зміна дрібнокристалічної будови плівки на вельми крупнозернисту, в якій розмір зерен перевищує 1 мкм.
Наукова новизна одержаних результатів: Отримані нові знання про закономірності фазоутворення в нанорозмірних плівках хрому, при відпалі за температури 900 °С.
Опис
Ключові слова
хром, вакуумний відпал, резистометрія, електронограма, окиснення, осадження, chrome, vacuum annealing, resistrometry, electronrome, oxidation, approximation
Бібліографічний опис
Кожура, В. С. Формування Cr-Ni та Ni-Cr електроіскровиx покриттів на сталі 40Х13 та їх властивості : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Кожура Віталій Сергійович. – Київ, 2018. – 74 с.