Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии
Вантажиться...
Дата
2010
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Освіта України
Анотація
Опис
Ключові слова
наноэлектронные технологии, наноструктуры, ионная имплантация, ионная литография, пористый кремний, наноэлектронные устройства
Бібліографічний опис
Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии [Электронний ресурс] : монография / Г. М. Младенов, В. М. Спивак, Е. Г. Колева, А. В. Богдан. – Электронные текстовые данные (1 файл: 11,85 Мбайт). – Киев - София : Освіта України, 2010. – 331 с. – Заглавие с экрана.