Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМладенов, Георги Михайлов
dc.contributor.authorСпивак, Виктор Михайлович
dc.contributor.authorКолева, Елена Георгиева
dc.contributor.authorБогдан, Александр Владимирович
dc.date.accessioned2017-11-15T13:21:19Z
dc.date.available2017-11-15T13:21:19Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractruЦель монографии – введение читателей в проблематику и анализ современного состояния наноэлектроники, в виде сравнительно краткого предварительного анализа способов получения и исследования современных и перспективных наноматериалов и технологии получения на их основе электронных наноэлементов; общих принципов и свойств современной наноэлектроники. Монография состоит из двух книг. Первая книга посвящена введению в наноэлектронные технологии. Рассмотрены свойства и методы анализа поверхностей и наноструктур, технологические методы получения тонких пленок методами ионной имплантации, ионного травления, ионной литографии; технологии получения материалов для наноэлектроники на основе пористого кремния, углеродных наноструктурных материалов. Во второй книге рассматриваются результаты некоторых исследований наноструктурных материалов и функциональных наноэлектронных устройств. Монография предназначена для широкого круга читателей – от специалистов до студентов вузов электронных направлений обучения.uk
dc.format.page331 с.uk
dc.identifier.citationНаноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии [Электронний ресурс] : монография / Г. М. Младенов, В. М. Спивак, Е. Г. Колева, А. В. Богдан. – Электронные текстовые данные (1 файл: 11,85 Мбайт). – Киев - София : Освіта України, 2010. – 331 с. – Заглавие с экрана.uk
dc.identifier.isbn966-8934-25-3 (кн.1)
dc.identifier.isbn966-8934-17-2
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/21147
dc.language.isoruuk
dc.publisherОсвіта Україниuk
dc.publisher.placeКиев ; Софияuk
dc.subjectнаноэлектронные технологииuk
dc.subjectнаноструктурыuk
dc.subjectионная имплантацияuk
dc.subjectионная литографияuk
dc.subjectпористый кремнийuk
dc.subjectнаноэлектронные устройстваuk
dc.subject.udc621.3.049.77uk
dc.titleНаноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологииuk
dc.typeBookuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Моногр укр-болгар Наноэл_1.pdf
Розмір:
11.57 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Монографії (ЗТРІ)