Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb)
Вантажиться...
Дата
2019
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
жидкофазная эпитаксия, принудительное охлаждение, твердые растворы А3В5, Ga-Al-P, Ga-Al-As, Ga-Al-Sb, инверсная кривая, планарные волноводные структуры, рідиннофазна епітаксія, примусове охолодження, тверді розчини А3В5, інверсна крива, планарні хвилеводні структури, liquid phase epitaxy, forced cooling, solid solutions А3В5, inverse curve, planar waveguide structures
Бібліографічний опис
Домбругов, М. Р. Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb) / Домбругов М. Р. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 1(108). – С. 6–14. – Бібліогр.: 22 назв.