Автоматизація процесу вирощування монокристалів методом Чохральского
Дата
2025
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
У дипломному проєкті розроблено систему автоматизації температурного режиму процесу вирощування монокристалів за методом Чохральського. Основною метою є забезпечення стабільного функціонування технологічного процесу, компенсація збурень та оптимізація параметрів керування. В якості об'єкта дослідження обрано процес вирощування монокристалів кремнію. Реалізовано математичне моделювання теплових процесів, побудовано динамічну модель системи, розроблено алгоритми оптимального керування. Результати показали ефективність запропонованої системи в умовах промислового виробництва напівпровідникових матеріалів.
Опис
Ключові слова
автоматизація, метод Чохральського, монокристали, система керування, математичне моделювання, оптимізація, температурний режим, напівпровідникові матеріали, automation, Czochralski method, monocrystals, control system, mathematical modeling, optimization, temperature regime, semiconductor materials
Бібліографічний опис
Лук’янов, Д. О. Автоматизація процесу вирощування монокристалів методом Чохральского : дипломний проект ... бакалавра : 151 Автоматизація та комп'ютерно-інтегровані технології / Лук’янов Давид Олексійович. – Київ, 2025. – 115 с.