Моделювання МЕМС датчиків в COMSOL Multiphysics
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Стешенко, Я. В.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
МЕМС, моделювання, датчики, COMSOL Multiphysics
Бібліографічний опис
Стешенко, Я. В. Моделювання МЕМС датчиків в COMSOL Multiphysics / Я. В. Стешенко // ХIII Науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Погляд у майбутнє приладобудування», 13-14 травня 2020 р., м. Київ, Україна : збірник праць конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 319-322. – Бібліогр.: 4 назви.