Моделювання МЕМС датчиків в COMSOL Multiphysics

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСтешенко, Я. В.
dc.date.accessioned2020-07-22T17:23:04Z
dc.date.available2020-07-22T17:23:04Z
dc.date.issued2020
dc.description.abstractukВ статті розглянуто основні проблеми розроблення та виробництва сучасних МЕМС пристроїв. Виконано аналіз мікроелектромеханічних систем на базі модулів МЕМС. Проаналізовано можливості використання моделювання МЕМС датчиків в середовищі COMSOL Multiphysics з метою досягнення максимальної точності контролю та ефективності розрахунку чисельної моделі датчиків.uk
dc.format.pagerangeС. 319-322uk
dc.identifier.citationСтешенко, Я. В. Моделювання МЕМС датчиків в COMSOL Multiphysics / Я. В. Стешенко // ХIII Науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Погляд у майбутнє приладобудування», 13-14 травня 2020 р., м. Київ, Україна : збірник праць конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 319-322. – Бібліогр.: 4 назви.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/35247
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceХIII Науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Погляд у майбутнє приладобудування», 13-14 травня 2020 р., м. Київ, Україна : збірник праць конференціїuk
dc.subjectМЕМСuk
dc.subjectмоделюванняuk
dc.subjectдатчикиuk
dc.subjectCOMSOL Multiphysicsuk
dc.subject.udc681.586uk
dc.titleМоделювання МЕМС датчиків в COMSOL Multiphysicsuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
PUMPB_2020-Page_319-322.pdf
Розмір:
645.22 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція 7. Неруйнівний контроль, технічна та медична діагностика