Формування рельєфу поверхні ультра-тонкої плівки міді

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЦисар, М. О.uk
dc.contributor.authorTsysar, M.en
dc.date.accessioned2013-07-08T12:06:40Zuk
dc.date.available2013-07-08T12:06:40Zuk
dc.date.issued2012uk
dc.description.abstractenMetal ultra-thin films are widely used in microelectronic devices. Stress-induced morphological instability is the one of the more important defect creation processes in these films. This process related to the tends that roughen film surface by mass diffusion during growth or heat treatment. This article gives an overview of theoretical and experimental studies on cupper film surface roughening. It is shown that diffusional atomic flux along the film surface related to the strain caused by lattice mismatch drives in such a way that an initially flat film evolves into an undulating profile with surface valleys with singular stress concentration near the valley tip. The stress concentration at cycloid-like surface valleys caused by roughening is found to create dislocations of various characters that participate in the overall strain relaxation. The experimental data were compared with the analytical data obtained on the basis of the developed physical-mathematical model of the surface formation topography. The discrepancy between experimental data and the model is ≈ 0,5% in the lateral direction and ≈ 3% in the direction of axis z.en
dc.description.abstractruПредставлены результаты исследования ультратонкой плёнки меди методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ)с полупроводниковым алмазным остриём. Экспериментальные данные сравнивались с аналитическими данными, полученными на основании разработанной физико-математической модели формирования рельефа поверхности под влиянием напряжённо-деформированного состояния.Расхождение между экспериментальными данными и моделью составляет ≈0,5% в латеральном направлении и ≈3% в направлении оси z.ru
dc.description.abstractukПредставлені результати досліджень ультра-тонкої плівки міді методом скануючої тунельної мікроскопії (СТМ) з напівпровідниковим алмазним вістрям. Експериментальні данні порівняні з аналітичними даними, які отримані на основі розробленої фізико-математичної моделі формування рельєфу поверхні під впливом напружено-деформованого стану. Розбіжність між експериментальними даними і моделлю складає лише ≈0,5% в латеральному напрямку і ≈3% в напрямку вісі z.uk
dc.format.pagerangeС. 181-185uk
dc.identifier.citationЦисар, М. О. Формування рельєфу поверхні ультра-тонкої плівки міді / Цисар М. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2012. – № 65. – С. 181–185. – Бібліогр.: 11 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/3146uk
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ "КПІ"uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceВісник НТУУ «КПІ». Машинобудування: збірник наукових працьru
dc.source.nameВісник НТУУ «КПІ». Машинобудування: збірник наукових працьuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectультра-тонка плівка мідіuk
dc.subjectнапружено-деформований станuk
dc.subjectскануючий тунельний мікроскопuk
dc.subjectалмазне вістряuk
dc.subjectultrathin copper filmen
dc.subjectstress-strain stateen
dc.subjectscanning tunnelling microscopeen
dc.subjectdiamond tipen
dc.subjectультратонкая плёнка медиru
dc.subjectнапряжённо-деформированное состояниеru
dc.subjectсканирующий туннельный микроскопru
dc.subjectалмазное остриёru
dc.subject.udc621.744:666.798.2uk
dc.titleФормування рельєфу поверхні ультра-тонкої плівки мідіuk
dc.title.alternativeSurface roughening of ultra-thin copper filmen
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
181_tsys.pdf
Розмір:
1.45 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування: збірник наукових праць, № 65