Інформативність як метрологічна характеристика при проектуванні чутливого елементу мікроакселерометрів
Дата
2017
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
МЕМС-акселерометр, чутливий елемент, метод кінцевих елементів, чутливість, власна частота, демпфуючі властивості, MEMS-accelerometer, sensor, finite element method, sensitivity, natural oscillation frequency, damping ability, МЭМС-акселерометр, чувствительный элемент, метод конечных элементов, чувствительность, частота собственных колебаний, демпфирующая способность
Бібліографічний опис
Дубінець В. І. Інформативність як метрологічна характеристика при проектуванні чутливого елементу мікроакселерометрів / Дубінець В. І. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2017. – Вип. 54(2). – С. 106-110. – Бібліогр.: 20 назв.