Інформативність як метрологічна характеристика при проектуванні чутливого елементу мікроакселерометрів
dc.contributor.author | Дубінець, В. І. | |
dc.contributor.author | Dubinets, V. I. | |
dc.contributor.author | Дубинец, В. И. | |
dc.date.accessioned | 2018-04-18T09:22:31Z | |
dc.date.available | 2018-04-18T09:22:31Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.description.abstracten | The results of design of pickoffs of axial microaccelerometers are presented. Researches are conducted and conformities to the law of influence on the sensitiveness of geometrical parameters of elastic suspension and mass of pickoff are set. Simulation and analysis of the strength of the sensitive element were carried out by the finite element method. In modeling, the following assumptions were made: deformations in materials are linear-elastic, the boundary conditions do not change during the loading process; the rigidity of the elastic suspension in the entire range of displacements varies linearly; for materials a model of a homogeneous, isotropic body is used. The main metrological and operational characteristics of the sensor are the following: the normalized value of the measured acceleration; axial sensitivity; transverse sensitivity; frequency working range; bulk-mass parameters. The operational requirements for the designed sensor element are as follows: the standardized value of the measured acceleration is ± 10g; displacement of mass not more than 5 microns. To ensure these requirements, the mass was 5x5 mm, the beams of the elastic suspension (length x width x height) in the cross section 0.5x0.25x0.005 mm. Variants of model parameters: 6 circuits of suspension of a sensitive element. Ensuring maximum informativeness is achieved by a reasonable compromise between the values of sensitivity and the basic own frequency. | uk |
dc.description.abstractru | В статье представлены результаты моделирования базовых принципиальных схем чувствительных элементов осевых микроакселерометров. Для обоснованного нахождения соотношений между чувствительностью и частотой собственных колебаний выбрана такая метрологическая характеристика как информативность. Методом конечных элементов проведены исследования и установлены закономерности влияния на чувствительность геометрических параметров упругого подвеса и массы чувствительного элемента. При моделировании определяли напряженно-деформированное состояние ЧЕ. | uk |
dc.description.abstractuk | У статті представлені результати моделювання чутливих елементів осьових мікроакселерометрів. Проведені дослідження і встановлені закономірності впливу на чутливість геометричних параметрів пружного підвісу і маси чутливого елементу. За допомогою аналітичних співвідношень і кінцево-елементного методу розраховані основні параметри пружного підвісу МЕМС-акселеpометpа. | uk |
dc.format.pagerange | С. 106-110 | uk |
dc.identifier.citation | Дубінець В. І. Інформативність як метрологічна характеристика при проектуванні чутливого елементу мікроакселерометрів / Дубінець В. І. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2017. – Вип. 54(2). – С. 106-110. – Бібліогр.: 20 назв. | uk |
dc.identifier.doi | https://doi.org/10.20535/1970.54(2).2017.119567 | |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22787 | |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | КПІ ім. Ігоря Сікорського | uk |
dc.publisher.place | Київ | uk |
dc.source | Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць, Вип. 54(2) | uk |
dc.subject | МЕМС-акселерометр | uk |
dc.subject | чутливий елемент | uk |
dc.subject | метод кінцевих елементів | uk |
dc.subject | чутливість | uk |
dc.subject | власна частота | uk |
dc.subject | демпфуючі властивості | uk |
dc.subject | MEMS-accelerometer | uk |
dc.subject | sensor | uk |
dc.subject | finite element method | uk |
dc.subject | sensitivity | uk |
dc.subject | natural oscillation frequency | uk |
dc.subject | damping ability | uk |
dc.subject | МЭМС-акселерометр | uk |
dc.subject | чувствительный элемент | uk |
dc.subject | метод конечных элементов | uk |
dc.subject | чувствительность | uk |
dc.subject | частота собственных колебаний | uk |
dc.subject | демпфирующая способность | uk |
dc.subject.udc | 681.586.325 | uk |
dc.title | Інформативність як метрологічна характеристика при проектуванні чутливого елементу мікроакселерометрів | uk |
dc.title.alternative | Informativity as metrological characteristics at design of sensitive element of mems accelerometers | uk |
dc.title.alternative | Информативность как метрологическая характеристика при проектировании чувствительного элемента микроакселерометров | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- P.106-110.pdf
- Розмір:
- 363.47 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 7.74 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: