Мікроелектронні сенсори для систем контролю якості повітря чистих зон
Вантажиться...
Дата
2022
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
мікро-електро-механічна система (МЕМС), сенсор лінійної швидкості повітря, термоізольована мікромеханічна структура, сенсор концентрації забруднюючих механічних часток в повітрі, високоефективний (HEPA) фільтр механічної очистки повітря чистих зон, шафа біологічної безпеки, сенсор температури, вологості та барометричного тиску повітря, мікроконтролер з вбудованим бездротовим інтерфейсом, показники якості повітря
Бібліографічний опис
Щеглаков, В. Д. Мікроелектронні сенсори для систем контролю якості повітря чистих зон : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Щеглаков В`ячеслав Дмитрович. – Київ, 2022. – 119 с.