Перспективи використання поверхневої електронно-променевої обробки оптичного і технічного скла
Вантажиться...
Дата
2014
Автори
Канашевич, Г. В.
Голуб, М. В.
Антонюк, В. С.
Слєпцов, В. Ф.
Kanashevych, H. V.
Holub, M. V.
Antonyuk, V. S.
Slyeptsov, V. F.
Канашевич, Г. В.
Голуб, Н. В.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
приладобудування, електронний потік, електронно-променева обробка, електронно-променева мікрообробка, поверхневий шар скла, оптичне скло, технічне скло, мікрооптика, інтегральна оптика, MOEMS, instrument engineering, electron flow, electron beam treatment, electron beam microtreatment, surface layer of glass, optical glass, technical glass, micro optics, integrated optics, приборостроение, электронный поток, электронно-лучевая обработка, электронно-лучевая микрообработка, поверхностный слой стекла, оптическое стекло, техническое стекло, микрооптика, интегральная оптика
Бібліографічний опис
Перспективи використання поверхневої електронно-променевої обробки оптичного і технічного скла / Г. В. Канашевич, М. В. Голуб, В. С. Антонюк, В. Ф. Слєпцов // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2014. – Вип. 47(1). – С. 127–136. – Бібліогр.: 18 назв.