Перспективи використання поверхневої електронно-променевої обробки оптичного і технічного скла

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКанашевич, Г. В.
dc.contributor.authorГолуб, М. В.
dc.contributor.authorАнтонюк, В. С.
dc.contributor.authorСлєпцов, В. Ф.
dc.contributor.authorKanashevych, H. V.
dc.contributor.authorHolub, M. V.
dc.contributor.authorAntonyuk, V. S.
dc.contributor.authorSlyeptsov, V. F.
dc.contributor.authorКанашевич, Г. В.
dc.contributor.authorГолуб, Н. В.
dc.contributor.authorАнтонюк, В. С.
dc.contributor.authorСлепцов, В. Ф.
dc.date.accessioned2014-07-28T22:08:14Z
dc.date.available2014-07-28T22:08:14Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractenOn the basis of experimental data and existing achievements outlined prospects for the use of surface treatment technology optical and technical glass with belt electron beam. Surface electron-beam processing provides aimed at changing the physical and chemical properties of the surface layers of silicate glass group (K8, BK10, TK21, photographic plates), which can be advantageously used in the instrument engineering when creating components for Micro-Opto-Electro-Mechanical devices and systems (MOEMS).uk
dc.description.abstractruНа основе полученных экспериментальных данных и существующих достижений определены перспективы использования технологии поверхностной обработка оптического и технического стекла ленточным электронным потоком. Поверхностная электронно-лучевая обработка обеспечивает направленное изменение физических и химических свойств поверхностных слоев стекла силикатной группы (К8, БК10, ТК21, фотопластин), что может успешно использоваться в приборостроении при создании элементной базы для микрооптоэлектромеханических приборов и систем (MOEMS).uk
dc.description.abstractukНа основі отриманих експериментальних даних та існуючих досягнень окреслені перспективи використання технології поверхневої обробки оптичного і технічного скла стрічковим електронним потоком. Поверхнева електронно-променева обробка забезпечує спрямовану зміну фізичних і хімічних властивостей поверхневих шарів скла силікатної групи (К8, БК10, ТК21,фотопластин), що може вигідно використовуватися в приладобудуванні при створенні елементної бази для мікрооптоелектромеханічних приладів і систем (MOEMS).uk
dc.format.pagerangeС. 127-136uk
dc.identifier.citationПерспективи використання поверхневої електронно-променевої обробки оптичного і технічного скла / Г. В. Канашевич, М. В. Голуб, В. С. Антонюк, В. Ф. Слєпцов // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2014. – Вип. 47(1). – С. 127–136. – Бібліогр.: 18 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/8229
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ "КПІ"uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.source.nameВісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових працьuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectприладобудуванняuk
dc.subjectелектронний потікuk
dc.subjectелектронно-променева обробкаuk
dc.subjectелектронно-променева мікрообробкаuk
dc.subjectповерхневий шар склаuk
dc.subjectоптичне склоuk
dc.subjectтехнічне склоuk
dc.subjectмікрооптикаuk
dc.subjectінтегральна оптикаuk
dc.subjectMOEMSuk
dc.subjectinstrument engineeringuk
dc.subjectelectron flowuk
dc.subjectelectron beam treatmentuk
dc.subjectelectron beam microtreatmentuk
dc.subjectsurface layer of glassuk
dc.subjectoptical glassuk
dc.subjecttechnical glassuk
dc.subjectmicro opticsuk
dc.subjectintegrated opticsuk
dc.subjectприборостроениеuk
dc.subjectэлектронный потокuk
dc.subjectэлектронно-лучевая обработкаuk
dc.subjectэлектронно-лучевая микрообработкаuk
dc.subjectповерхностный слой стеклаuk
dc.subjectоптическое стеклоuk
dc.subjectтехническое стеклоuk
dc.subjectмикрооптикаuk
dc.subjectинтегральная оптикаuk
dc.subject.udc621.373.826.038uk
dc.titleПерспективи використання поверхневої електронно-променевої обробки оптичного і технічного склаuk
dc.title.alternativePerspectives of surface electron beam processing of optical and technical glassesuk
dc.title.alternativeПерспективы использования поверхностной электронно-лучевой обработки оптического и технического стеклаuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
r_7_1.pdf
Розмір:
475.85 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць, Вип. 47(1)