Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники
Вантажиться...
Дата
2016
Автори
Филатов, Юрий Данилович
Сидорко, Владимир Игоревич
Юрчишин, Оксана Ярославовна
Filatov, Yu.
Sidorko, V.
Yurchyshyn, O.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
полирование, монокристаллы, наночастицы, коллоидная система, шероховатость, полірування, монокристали, наночастинки, колоїдна система, шорсткість, Single crystals, nanoparticles, colloidal system, roughness
Бібліографічний опис
Филатов Ю. Д. Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники / Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Юрчишин О. Я. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2016. – № 1(76). – С. 133–138. – Бібліогр.: 10 назв.