Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль
Вантажиться...
Дата
2017
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
генерація надвисокочастотної плазми, низькотемпературна плазма, еванесцентні хвилі, надисокочастотний генератор, microwave plasma generation, low-temperature plasma, evanescent waves, microwave generator, генерация сверхвысокочастотной плазмы, низкотемпературная плазма, эванесцентные волны, сверхвысокочастотный генератор
Бібліографічний опис
Перевертайло, В. В. Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль / Перевертайло В. В., Кузьмичєв А. І. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2017. – Т. 22, № 6(101). – С. 12–17. – Бібліогр.: 13 назв.