Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПеревертайло, Володимир Володимирович
dc.contributor.authorКузьмичєв, Анатолій Іванович
dc.date.accessioned2020-04-22T22:27:31Z
dc.date.available2020-04-22T22:27:31Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractenAnalysis and comparison of possible design features of microwave low-temperature plasma generators, which are based on evanesсent waves, was carried out in this paper. The aim of the study are systematization of different methods and approaches to the generation of microwave plasma using evanescent waves, the search of evanescent waves application in microwave plasma technology, the problem of providing a homogeneity zone of the solid surface area under treatment (up to square meters), which could be used in flat-panel displays, presentation screens, solar panels, etc. Three approaches which provide excitation of evanescent wave are discussed: excitation based on below cutoff waveguide; evanescent wave which is excited by surface waves; evanescent wave which is excited near the surface of the dielectric based on effect of violation of total internal reflection. These three methods make it possible to get the evanescent wave for generation of gas-discharge plasma. Equipment and technology based on these methods are not fully studied yet and required analysis and improvements. The results of this study could be applied in new designs and processes in the field of treatment of the surface layer of solids. The results of the first experiments using such generators are presented in this paper and prospects of further applications for ion-plasma treatment of the surface layer of solids (deleting, printing material and surface modification) are determined. The issue of microwave plasma generation and other technological processes based on evanescent waves is extremely important. The cause of that is their concern of various branches of science and technology including plasmonics, nanoelectronics, optics and they are widely discussed in recent years. By analogy with the effects in optics, evanescent waves can cause similar effects in gas-discharge technology. “Evanescent waves” – separate direction in electrodynamics associated with the study of these waves: their properties and possibilities of their application. Now this trend is taking on widespread development, especially in nanophotonics (excitation of plasmon oscillations and waves of plasmon polariton type). In this paper, the possibility of using the evanecent mode of the microwave waves for excitation of plasma formation is considered. Also in the paper was devoted the attention to prototyping of microwave generators that will provide the technological requirements for the surface treatment of solids and deposited coatings, giving competitive results, thus are environmentally safe, easy-to-work and relatively inexpensive design on the market. On the basis of the research, propositions of the future developing in this direction are put forward.uk
dc.description.abstractruВ данной работе проведен анализ и сравнение возможных конструктивных особенностей сверхвысокочастотных генераторов низкотемпературной плазмы, которые строятся на базе эванесцентных волн. Целью исследования является систематизация различных методов и подходов к генерации СВЧ плазмы с помощью эванесцентных волн, поиск технологии применения эванесцентных волн СВЧ диапазона в плазменной технике, проблема обеспечения зоны однородности обрабатываемой поверхности твердого тела большой площади (метры квадратные). В статье рассмотрены три подхода, обеспечивающие возбуждение эванесцентной волны: возбуждение с помощью запредельного волновода; эванесцентная волна возбуждается с помощью поверхностной волны; эванесцентная волна, которая возбуждается вблизи поверхности диэлектрика за счет эффекта нарушения полного внутреннего отражения. Представлены результаты первых экспериментов использования таких генераторов и определены перспективы их дальнейшего применения для ионно-плазменной технологии обработки больших подложек. На основе проведенного исследования выдвинуты предположения будущих разработок в данном направлении.uk
dc.description.abstractukУ даній роботі проведено аналіз та порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі еванесцентних хвиль. Метою дослідження є систематизація різних методів та підходів до генерації НВЧ плазми за допомогою еванесцентних хвиль, пошук технології застосування еванесцентних хвиль НВЧ діапазону у плазмовій техніці, проблема забезпечення зони однорідності оброблюваної поверхні твердого тіла великої площі (метри квадратні). У статті розглянуто три підходи, що забезпечують збудження еванесцентної хвилі: збудження за допомогою позамежного хвилеводу; еванесцентна хвиля, що збуджується за допомогою поверхневої хвилі; еванесцентна хвиля, що збуджується поблизу поверхні діелектрика за рахунок ефекту порушення повного внутрішнього відбиття. Представлено результати перших експериментів використання таких генераторів та визначені перспективи їх подальшого застосування для іонно-плазмової технології обробки великих підкладок.uk
dc.format.pagerangeС. 12-17uk
dc.identifier.citationПеревертайло, В. В. Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль / Перевертайло В. В., Кузьмичєв А. І. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2017. – Т. 22, № 6(101). – С. 12–17. – Бібліогр.: 13 назв.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/33040
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/uk
dc.sourceМікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал, 2017, Т. 22, № 6(101)uk
dc.subjectгенерація надвисокочастотної плазмиuk
dc.subjectнизькотемпературна плазмаuk
dc.subjectеванесцентні хвиліuk
dc.subjectнадисокочастотний генераторuk
dc.subjectmicrowave plasma generationuk
dc.subjectlow-temperature plasmauk
dc.subjectevanescent wavesuk
dc.subjectmicrowave generatoruk
dc.subjectгенерация сверхвысокочастотной плазмыuk
dc.subjectнизкотемпературная плазмаuk
dc.subjectэванесцентные волныuk
dc.subjectсверхвысокочастотный генераторuk
dc.subject.udc621.38uk
dc.titleГенерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвильuk
dc.title.alternativeMicrowave plasma generation using evanescent wavesuk
dc.title.alternativeГенерация сверхвысокочастотной плазмы при помощи эванесцентных волнuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MEA2017_22-6_p12-17.pdf
Розмір:
433.13 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Мікросистеми, Електроніка та Акустика: науково-технічний журнал, Т. 22, № 6(101)