Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorЄвтушенко, Арсеній Іванович
dc.contributor.authorТихоненко, Михайло Валерійович
dc.date.accessioned2022-02-08T13:04:34Z
dc.date.available2022-02-08T13:04:34Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractenThe master's dissertation is devoted to the topic of research of the influence of substrate voltage on the main characteristics of thin films. The aim of the work is the analysis of thin films properties of zinc oxide doped by aluminum, deposited by the magnetron sputtering method when the substrate bias changes. The main materials of transparent electrically conductive oxides are considered in the work. The principle of operation of the methods of applying thin films with the indicated advantages and disadvantages of these methods is described. Three methods of magnetron sputtering are considered and the most optimal variant of research is chosen from them. An experiment was performed with several samples of films grown at different substrate biases. The results of optical, structural and electrical characteristics of these samples are shown and the results of the experiment are discussed.uk
dc.description.abstractukМагістерська дисертація присвячена темі дослідження впливу напруги підкладки на основні характеристики тонких плівок. Метою роботи є аналіз властивостей тонких плівок оксиду цинку, легованого алюмінієм, осаджених магнетронним методом при зміні напруги підкладки. В роботі розглянуто основні матеріали прозорих провідних оксидів. Описано принцип роботи методів осадження тонких плівок, із зазначеними перевагами та недоліками цих методів. Розглянуто три методи магнетронного напилення та обрано з них найбільш оптимальний варіант для досліджень. Проведено експеримент з декількома зразками плівок які напилювались при різних напругах підкладки. Було проаналізовано результати оптичних, структурних, і електричних характеристик цих зразків, а також обговорено результати досліду.uk
dc.format.page55 с.uk
dc.identifier.citationТихоненко, М. В. Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Тихоненко Михайло Валерійович. – Київ, 2021. – 55 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/46251
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectоксид цинкуuk
dc.subjectосадження тонких плівокuk
dc.subjectмагнетронне напиленняuk
dc.subjectвисокочастотне магнетронне напиленняuk
dc.subjectнапруга зміщення підкладкиuk
dc.subjectZnO:Aluk
dc.titleОсадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладкиuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Tykhonenko_M_magistr.pdf
Розмір:
1.05 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (МЕ)
Магістерські роботи